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        EZ4高精密勻膠機

         更新時(shí)間:2018-04-19 點(diǎn)擊量:1889

        產(chǎn)品介紹:

        名    稱(chēng):高精密勻膠機

        型    號:EZ4

        原產(chǎn)地:美國,USA

        應    用:在高速旋轉的基片上,滴注各類(lèi)膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時(shí)間有關(guān)。

        產(chǎn)品概述:

        EZ4高精密勻膠機被設計為涂膠處理小碎片至4英寸圓晶尺寸底物,使用工業(yè)級直流馬達和單片機控制,文本顯示器人機界面。
          EZ4高精密勻膠機被設計為結構緊湊、簡(jiǎn)單易用,可多步程控操作,尺寸小巧,易于放入手套箱內操作。EZ4采用全陽(yáng)極氧化鋁面板外殼,PP材料內腔,經(jīng)久耐用。

        EZ4高精密勻膠機性能參數:

        l   支持wafer尺寸:碎片(小于1cm)至100mm(4"圓晶)

        l   速度可調范圍:100-10000rpm

        l   加速度可調范圍:100-10000rpm/s

        l   轉速分辨率:1rpm

        l   轉速精度:<±5rpm

        l   可編程5組5步程序

        l   寬電壓輸入:AC100-230V

        產(chǎn)品特點(diǎn):

        l   75W 直流無(wú)刷電機,單片機控制

        l   高清晰文本顯示器

        l   可單步和多步勻膠操作

        l   PP耐腐蝕內腔,可更換

        l   鋁合金陽(yáng)極氧化外殼,美觀(guān)大方

        l   耐溶劑PC透明蓋

        l   多角度定位鉸鏈設計

        l   HDPE真空吸盤(pán)

        產(chǎn)品外型尺寸:
            250mm(D)*210mm(W)*200mm(H)

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