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        EZ6高精密勻膠機

         更新時(shí)間:2018-04-19 點(diǎn)擊量:2305

        產(chǎn)品介紹:

        名     稱(chēng):高精密勻膠機

        型     號:EZ6

        原產(chǎn)地:美國,USA

        應   用:在高速旋轉的基片上,滴注各類(lèi)膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時(shí)間有關(guān)。

        產(chǎn)品概述:

          EasyCoater 6勻膠機被設計為涂膠處理小碎片至6英寸圓晶尺寸底物,使用工業(yè)級直流馬達和PLC控制,5寸全彩觸屏人機界面操作,簡(jiǎn)單易用。EZ6勻膠機在材料、化學(xué)或生物等實(shí)驗室被廣泛用于薄膜制備,納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域。
          EZ6勻膠機設計標準為結構緊湊、簡(jiǎn)單易用,程控操作,且能夠升級自動(dòng)點(diǎn)膠功能,尺寸上可從通用的手套箱過(guò)渡艙內進(jìn)出,具有優(yōu)異的性?xún)r(jià)比。亦可提供分體式設計,進(jìn)行嵌入式安裝,與手套箱進(jìn)行配合。

        性能參數:

        l  支持wafer尺寸:1cm-150mm(6"圓晶)

        l  速度可調范圍:100-10000rpm

        l  加速度可調范圍:100-30000rpm/s

        l  轉速分辨率:1rpm

        l  轉速精度:<±5rpm

        l  可編程10組10步程序

        l  寬電壓輸入:AC100-230V

        產(chǎn)品特點(diǎn):

        l  100W 直流無(wú)刷電機,PLC 控制

        l  5”全彩觸摸屏

        l  系統中英文可選

        l  帶一只自動(dòng)點(diǎn)膠端口,可升級自動(dòng)點(diǎn)膠功能

        l  HDPE 內腔,SUS 外殼,耐溶劑PC 透明蓋

        l  真空互鎖及蓋子開(kāi)關(guān)互鎖安全功能

        產(chǎn)品外型尺寸:

            358mm(D)*256mm(W)*258mm(H)

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